Corporate European
Denmark 
Finland
France
Germany & Switzerland
Greece
Italy
Latvia
Netherlands
Norway
Slovakia
Spain & Portugal
Sweden
UK & Ireland
Austria
Benelux
Czech Republic
Hongary
Macedonia
Poland![[Translate to Slovakia:] New Fan Filter Units for cleanrooms in Denmark](/fileadmin/user_upload/Case_Studies/case_study_denmark_large.jpg)
Dánska spoločnosť DTU Nanolab vymenila 291 jednotiek FFU v čistom priestore
Konečný používateľ: DTU Nanolab Dánsko – Národné centrum pre nanofabrikáciu a charakterizáciu
Odvetvie: Polovodiče
DTU Nanolab je dánske národné centrum pre nanofabrikáciu a charakterizáciu, ktoré vlastní a prevádzkuje Dánska technická univerzita (DTU) v Lyngby, severne od Kodane. DTU Nanolab prevádzkuje a udržiava moderné spracovateľské zariadenia v priestoroch s čistými miestnosťami o rozlohe 1 350 m², triedy 10–100, certifikovaných podľa ISO 9001, s voľným prístupom a platbou za používanie.
Ako výskumná infraštruktúra DTU podporuje výskum a vývoj v oblasti najmodernejších technológií charakterizácie a výroby. S cieľom zabezpečiť odborné znalosti na svetovej úrovni inštitút vykonáva výskum v oblasti technológií výroby a charakterizácie v DTU Nanolab. Ich fakulta pozostávajúca z približne 15 profesorov a výskumníkov pokrýva širokú škálu technológií a metód. Hlavným cieľom ich výskumu je posúvať najmodernejšie technológie v rámci vybraných oblastí s cieľom umožniť nové aplikácie a zariadenia. Viac informácií nájdete na https://www.nanolab.dtu.dk/english
Tak ako takmer všetky zariadenia tohto druhu, aj DTU Nanolab čelí vysokým nákladom na energiu spojeným s prevádzkou čistých priestorov. Infraštruktúra ventilátorových filtračných jednotiek, HEPA filtre používané v týchto jednotkách, ako aj riadenie celého systému boli identifikované ako kľúčové prvky pre dosiahnutie úspor energie. Ventilátorové filtračné jednotky, ktoré sa v súčasnosti používajú, sú čiastočne v prevádzke už 15 rokov a z hľadiska energetickej účinnosti, integrity systému a hladiny hluku nie sú na najnovšej technickej úrovni. Na základe silného imidžu spoločnosti AAF v polovodičovom priemysle a dlhoročných skúseností vrátane tisícov inštalácií FFU a nízkoenergetických ePTFE HEPA filtrov navrhla spoločnosť AAF presvedčivé riešenie – s trvalým úspechom.
Vybrané produkty AAF
Modul AstroFan FFU pozostáva z hliníkového puzdra, v ktorom je umiestnená vysoko výkonná, hermeticky uzavretá kombinácia ventilátora a motora AAF Optimized s priamym pohonom a spätne zakrivenými lopatkami, ako aj vymeniteľný filter AAF HEPA alebo ULPA. Celé puzdro sa ľahko dekontaminuje a je odolné voči dezinfekčným prostriedkom. Puzdro je utesnené a spočíva na eloxovaných hliníkových profiloch filtra AAF HEPA alebo ULPA.
Najvýkonnejšia technológia filtrov ULPA pre mikroelektroniku
Pri výrobe mikroelektroniky je čistota vzduchu a produktu nevyhnutná pre správne dopovanie polovodičov. Podobne ako častice, aj určité prvky môžu negatívne ovplyvňovať elektrické vlastnosti integrovaných obvodov, čo má vplyv na výťažnosť. Tradičné borosilikátové sklenené médiá sú potenciálnym zdrojom kontaminácie bórom, a to aj v prípade sklenených médií s „nízkym obsahom bóru“. Fosfor sa nachádza v retardéroch horenia určitých polyuretánových tesniacich materiálov používaných na utesnenie filtračného média k rámu filtra. Preto je MEGAcel II ME vyrobený a testovaný bez obsahu bóru a fosforu. Už viac ako 20 rokov je MEGAcel II ME zlatým štandardom pre minienvironmentálne skrine pre filtračné systémy polovodičových nástrojov.
Vysokoúčinná jednotka HEPA/ULPA FFU s modulárnou konštrukciou
- Dostupná v 7 štandardných veľkostiach
- Ľahké hliníkové puzdro
- Nízka hladina hluku
- Vhodná pre všetky triedy čistých priestorov ISO
- Vhodná pre turbulentný a laminárny prietok
- Vhodná pre širokú škálu filtrov AAF HEPA a ULPA
- Dostupná s ovládacím rozhraním EC RS-485, 0–10 V a MODBUS RTU
- Viac informácií o jednotke FFU
Plne integrované riadiace systémy až po jednotlivé jednotky FFU
Okrem vzduchových filtrov a nehnaných prívodných skríň si niektoré aplikácie vyžadujú aj riadenie rýchlosti a konzistencie prúdu vzduchu do veľkoplošných výrobných priestorov špecifické pre danú jednotku. Ventilátorové filtračné jednotky, najmä v kombinácii s robustnými elektronickými riadiacimi systémami, pomáhajú zabezpečiť integritu výrobných procesov v rámci týchto aplikácií a slúžia na maximalizáciu celkovej ekonomiky systému.
Membránové filtre MEGAcel® II ME
- Poskytujú mimoriadne vysokú účinnosť s najnižším tlakovým spádom
- Vysoká odolnosť voči korozívnym prostrediam (kyseliny, zásady a organické látky)
- Najnižšie vlastnosti uvoľňovania plynov na trhu
- Materiál s vysokou pevnosťou v ťahu, odolnejší voči hrubému zaobchádzaniu pri preprave a inštalácii
- Splňuje špecifikácie I300I a je klasifikovaný podľa UL 900 a ULC S111
- Viac informácií o MEGAcel II ME
V čistom priestore sa čoskoro vymení 291 ventilátorových filtračných jednotiek (FFU), pričom predpokladaný termín dokončenia je v máji 2022. Nové FFU sú tichšie ako súčasné a ušetria 122 000 kWh ročne, čo zodpovedá približne 268 000 DKK ročne.
Konečný používateľ: DTU Nanolab Dánsko – Národné centrum pre nanofabrikáciu a charakterizáciu
Odvetvie: Polovodiče
DTU Nanolab je dánske národné centrum pre nanofabrikáciu a charakterizáciu, ktoré vlastní a prevádzkuje Dánska technická univerzita (DTU) v Lyngby, severne od Kodane. DTU Nanolab prevádzkuje a udržiava moderné spracovateľské zariadenia v priestoroch s čistými miestnosťami o rozlohe 1 350 m², triedy 10–100, certifikovaných podľa ISO 9001, s voľným prístupom a platbou za používanie.
Ako výskumná infraštruktúra DTU podporuje výskum a vývoj v oblasti najmodernejších technológií charakterizácie a výroby. S cieľom zabezpečiť odborné znalosti na svetovej úrovni inštitút vykonáva výskum v oblasti technológií výroby a charakterizácie v DTU Nanolab. Ich fakulta pozostávajúca z približne 15 profesorov a výskumníkov pokrýva širokú škálu technológií a metód. Hlavným cieľom ich výskumu je posúvať najmodernejšie technológie v rámci vybraných oblastí s cieľom umožniť nové aplikácie a zariadenia. Viac informácií nájdete na https://www.nanolab.dtu.dk/english
Tak ako takmer všetky zariadenia tohto druhu, aj DTU Nanolab čelí vysokým nákladom na energiu spojeným s prevádzkou čistých priestorov. Infraštruktúra ventilátorových filtračných jednotiek, HEPA filtre používané v týchto jednotkách, ako aj riadenie celého systému boli identifikované ako kľúčové prvky pre dosiahnutie úspor energie. Ventilátorové filtračné jednotky, ktoré sa v súčasnosti používajú, sú čiastočne v prevádzke už 15 rokov a z hľadiska energetickej účinnosti, integrity systému a hladiny hluku nie sú na najnovšej technickej úrovni. Na základe silného imidžu spoločnosti AAF v polovodičovom priemysle a dlhoročných skúseností vrátane tisícov inštalácií FFU a nízkoenergetických ePTFE HEPA filtrov navrhla spoločnosť AAF presvedčivé riešenie – s trvalým úspechom.
Vybrané produkty AAF
Modul AstroFan FFU pozostáva z hliníkového puzdra, v ktorom je umiestnená vysoko výkonná, hermeticky uzavretá kombinácia ventilátora a motora AAF Optimized s priamym pohonom a spätne zakrivenými lopatkami, ako aj vymeniteľný filter AAF HEPA alebo ULPA. Celé puzdro sa ľahko dekontaminuje a je odolné voči dezinfekčným prostriedkom. Puzdro je utesnené a spočíva na eloxovaných hliníkových profiloch filtra AAF HEPA alebo ULPA.
Najvýkonnejšia technológia filtrov ULPA pre mikroelektroniku
Pri výrobe mikroelektroniky je čistota vzduchu a produktu nevyhnutná pre správne dopovanie polovodičov. Podobne ako častice, aj určité prvky môžu negatívne ovplyvňovať elektrické vlastnosti integrovaných obvodov, čo má vplyv na výťažnosť. Tradičné borosilikátové sklenené médiá sú potenciálnym zdrojom kontaminácie bórom, a to aj v prípade sklenených médií s „nízkym obsahom bóru“. Fosfor sa nachádza v retardéroch horenia určitých polyuretánových tesniacich materiálov používaných na utesnenie filtračného média k rámu filtra. Preto je MEGAcel II ME vyrobený a testovaný bez obsahu bóru a fosforu. Už viac ako 20 rokov je MEGAcel II ME zlatým štandardom pre minienvironmentálne skrine pre filtračné systémy polovodičových nástrojov.
Vysokoúčinná jednotka HEPA/ULPA FFU s modulárnou konštrukciou
- Dostupná v 7 štandardných veľkostiach
- Ľahké hliníkové puzdro
- Nízka hladina hluku
- Vhodná pre všetky triedy čistých priestorov ISO
- Vhodná pre turbulentný a laminárny prietok
- Vhodná pre širokú škálu filtrov AAF HEPA a ULPA
- Dostupná s ovládacím rozhraním EC RS-485, 0–10 V a MODBUS RTU
- Viac informácií o jednotke FFU
Plne integrované riadiace systémy až po jednotlivé jednotky FFU
Okrem vzduchových filtrov a nehnaných prívodných skríň si niektoré aplikácie vyžadujú aj riadenie rýchlosti a konzistencie prúdu vzduchu do veľkoplošných výrobných priestorov špecifické pre danú jednotku. Ventilátorové filtračné jednotky, najmä v kombinácii s robustnými elektronickými riadiacimi systémami, pomáhajú zabezpečiť integritu výrobných procesov v rámci týchto aplikácií a slúžia na maximalizáciu celkovej ekonomiky systému.
Membránové filtre MEGAcel® II ME
- Poskytujú mimoriadne vysokú účinnosť s najnižším tlakovým spádom
- Vysoká odolnosť voči korozívnym prostrediam (kyseliny, zásady a organické látky)
- Najnižšie vlastnosti uvoľňovania plynov na trhu
- Materiál s vysokou pevnosťou v ťahu, odolnejší voči hrubému zaobchádzaniu pri preprave a inštalácii
- Splňuje špecifikácie I300I a je klasifikovaný podľa UL 900 a ULC S111
- Viac informácií o MEGAcel II ME
V čistom priestore sa čoskoro vymení 291 ventilátorových filtračných jednotiek (FFU), pričom predpokladaný termín dokončenia je v máji 2022. Nové FFU sú tichšie ako súčasné a ušetria 122 000 kWh ročne, čo zodpovedá približne 268 000 DKK ročne.
![[Translate to Slovakia:] Clean air in Bratislavian schools](/fileadmin/_processed_/f/c/csm_bratislava-case-study-small_11de08c014.jpg)
![[Translate to Slovakia:] Air filtration audit for Bratislavian bussiness centre](/fileadmin/_processed_/6/9/csm_case-study-bratislava-1_301512a2f3.jpg)
