Το DTU Nanolab της Δανίας αλλάζει 291 FFU σε καθαρό δωμάτιο

Όπως σχεδόν όλες οι εγκαταστάσεις αυτού του είδους, το DTU Nanolab υποφέρει από υψηλό ενεργειακό κόστος για τη λειτουργία των καθαρών χώρων του. Η υποδομή των μονάδων φίλτρων ανεμιστήρων, τα φίλτρα HEPA που χρησιμοποιούνται εντός των μονάδων, καθώς και οι έλεγχοι για το πλήρες σύστημα έχουν αναγνωριστεί ως σημαντικός ακρογωνιαίος λίθος για την επίτευξη εξοικονόμησης ενέργειας. Οι μονάδες φίλτρων ανεμιστήρων που χρησιμοποιούνται σήμερα είναι εν μέρει 15 ετών σε λειτουργία και από άποψη ενεργειακής απόδοσης, ακεραιότητας του συστήματος και επιπέδου θορύβου δεν είναι τελευταίας τεχνολογίας. Με βάση την ισχυρή εικόνα της AAF στον κλάδο των ημιαγωγών και το μακρύ ιστορικό που περιλαμβάνει χιλιάδες εγκαταστάσεις μονάδων FFU και φίλτρων HEPA ePTFE χαμηλής ενεργειακής κατανάλωσης, η AAF πρότεινε μια πειστική λύση - με βιώσιμη επιτυχία.

Η μονάδα AstroFan FFU αποτελείται από ένα περίβλημα από αλουμίνιο που περιέχει ένα συνδυασμό ανεμιστήρα/κινητήρα EC υψηλής απόδοσης με καψύλλιο AAF Optimized με άμεση κίνηση προς τα πίσω και ένα αντικαταστάσιμο φίλτρο AAF HEPA ή ULPA. Ολόκληρο το περίβλημα απολυμαίνεται εύκολα και είναι ανθεκτικό στα απολυμαντικά. Το περίβλημα στεγανοποιείται και στηρίζεται στις εξάρσεις ανοδιωμένου αλουμινίου του φίλτρου AAF HEPA ή ULPA.

Τεχνολογία φίλτρων ULPA υψηλότερης απόδοσης για μικροηλεκτρονική
Στην κατασκευή μικροηλεκτρονικής, η καθαρότητα του αέρα και του προϊόντος είναι απαραίτητη για τη σωστή πρόσμιξη των ημιαγωγών. Όπως και τα σωματίδια, ορισμένα στοιχεία μπορούν να επηρεάσουν αρνητικά τις ηλεκτρικές ιδιότητες των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, επηρεάζοντας την απόδοση. Τα παραδοσιακά μέσα από βοριοπυριτικό γυαλί είναι μια πιθανή πηγή μόλυνσης από βόριο, ακόμη και με μέσα από γυαλί "χαμηλής περιεκτικότητας σε βόριο". Ο φώσφορος μπορεί να βρεθεί στα επιβραδυντικά φλόγας ορισμένων στεγανωτικών πολυουρεθάνης που χρησιμοποιούνται για τη στεγανοποίηση του πακέτου μέσων στο πλαίσιο του φίλτρου. Αυτός είναι ο λόγος για τον οποίο το MEGAcel II ePTFE είναι κατασκευασμένο και δοκιμασμένο χωρίς βόριο και φώσφορο. Για πάνω από 20 χρόνια, το MEGAcel II ePTFE αποτελεί το χρυσό πρότυπο για περιβλήματα μικροπεριβάλλοντος για συστήματα φιλτραρίσματος εργαλείων ημιαγωγών.

Υψηλής απόδοσης HEPA/ULPA FFU με αρθρωτή σχεδίαση

•  Διατίθεται σε 7 τυποποιημένα μεγέθη
•  Ελαφρύ περίβλημα από αλουμίνιο
•  Χαμηλή στάθμη ήχου
•  Κατάλληλο για όλες τις κατηγορίες καθαρού χώρου ISO
•  Κατάλληλο για τυρβώδη και στρωτή ροή
•  Κατάλληλο για ένα ευρύ φάσμα φίλτρων AAF HEPA και ULPA
•  Διατίθεται με διεπαφή ελέγχου EC RS-485, 0-10 Volt και MODBUS RTU
•  Περισσότερες πληροφορίες για το FFU

Πλήρως ολοκληρωμένα συστήματα ελέγχου έως και τη μεμονωμένη FFU

Εκτός από τα φίλτρα αέρα και τα μη ηλεκτροδοτούμενα περιβλήματα παροχής, ορισμένες εφαρμογές απαιτούν επίσης τον έλεγχο της ταχύτητας και της συνέπειας της ροής του αέρα σε χώρους παραγωγής μεγάλης κλίμακας από συγκεκριμένη μονάδα. Οι μονάδες φίλτρων ανεμιστήρων, ειδικά όταν συνδυάζονται με ισχυρά ηλεκτρονικά συστήματα ελέγχου, συμβάλλουν στη διασφάλιση της ακεραιότητας των διαδικασιών παραγωγής σε αυτές τις εφαρμογές και χρησιμεύουν στη μεγιστοποίηση της συνολικής οικονομίας του συστήματος.

Φίλτρα μεμβράνης MEGAcel^® II ePTFE

•  Παρέχει εξαιρετικά υψηλή απόδοση με τη χαμηλότερη πτώση πίεσης
•  Υψηλή αντοχή σε διαβρωτικά περιβάλλοντα (οξέα, αλκάλια και οργανικές ουσίες)
•  Χαμηλότερες διαθέσιμες ιδιότητες έκλυσης αερίων
•  Μέσο υψηλής αντοχής σε εφελκυσμό, πιο ανθεκτικό στους τραχείς χειρισμούς κατά τη μεταφορά και την εγκατάσταση
•  Πληροί τις προδιαγραφές I300I και είναι ταξινομημένο κατά UL 900 και ULC S111
•  Περισσότερες πληροφορίες για το MEGAcel II ePTFE

291 Μονάδες φίλτρου ανεμιστήρα (FFU) πρόκειται να αλλαχθούν στον καθαρό χώρο με εκτιμώμενη ημερομηνία ολοκλήρωσης τον Μάιο του 2022. Οι νέες FFU είναι πιο αθόρυβες από τις υπάρχουσες FFU και θα εξοικονομήσουν 122.000 kWh/έτος, που αντιστοιχούν σε περίπου 268.000 kr/έτος.